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PLR3000系列0.2ppm激光干涉尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

GTS系列六自由度調姿定位激光跟蹤儀已經發展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標測頭配合使用。

PLR3000多自由度光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

中圖儀器激光跟蹤儀產品已經發展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標測頭配合使用。

PLR3000微米級高精度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

GTS精密三維坐標激光跟蹤測量儀是已經發展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標測頭配合使用。