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除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，SuperViewW1國產自研白光形貌干涉儀具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1白光干涉粗糙度儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能.

自設計之初，VT6000共聚焦高精度三維顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標。儀器采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

中圖儀器國產臺階儀廠商NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

在材料生產檢測領域中，VT6000光伏檢測儀器3D顯微鏡輪廓儀用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析的精密光學儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

SuperViewW1中圖儀器三維白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。