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臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。中圖儀器NS系列臺階儀接觸式表面形貌測量儀廣泛應用于：大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域。

SuperViewW1國產三維白光干涉儀以白光干涉技術原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件表面進行納米級測量，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1國產白光干涉顯微鏡以白光干涉技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

VT6000激光共聚焦顯微成像儀配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現。儀器整體結構簡單，由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動，實現了“拎著走”的便攜式設計。

中圖臺階儀應用場景適應性強，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位，其對表面微觀形貌參數的準確表征，對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

在材料生產檢測領域中，VT6000轉盤共聚焦高分辨率顯微鏡結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。