中圖儀器VT6000系列3D輪廓尺寸共聚焦顯微鏡主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；以及二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度、角度、半徑等尺寸測量。廣泛應用于超精密加工行業(yè)高效管控，如半導體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域。

一、產(chǎn)品功能

（1）3D測量功能：設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

（2）影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度、角度、半徑等尺寸測量；

（3）自動拼接功能：設備具備自動拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

（4）數(shù)據(jù)處理功能：設備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

（5）分析工具功能：設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

（6）批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

（7）便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等；

（8）光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命；

（9）鏡頭安全功能：VT6000系列3D輪廓尺寸共聚焦顯微鏡設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。

二、產(chǎn)品特點

1、精度與效率雙提升：相同物鏡下橫向分辨率更高，圖像細節(jié)更清晰，直觀測量模式+批量分析功能，大幅縮短檢測周期，降低時間成本。

2、全場景測量覆蓋：從納米到微米級，無論是光滑/粗糙表面、低/高反射率材質(zhì)，均可精準測量粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓等關(guān)鍵參數(shù)。

3、安全與穩(wěn)定雙保障：雙重防撞保護+光源智能節(jié)能設計，減少設備損耗，延長使用壽命，降低運維成本。

4、合規(guī)：符合ISO/ASME/EUR/GBT等多行業(yè)國際標準，300余種2D/3D參數(shù)測量能力，數(shù)據(jù)可追溯。

三、應用行業(yè)

1、核心應用領(lǐng)域：半導體制造及封裝、3C電子玻璃屏與精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件。

2、拓展應用場景：航空航天零部件檢測、科研院所研發(fā)實驗、超精密加工行業(yè)品質(zhì)管控等。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置可能因技術(shù)升級調(diào)整，具體以實際溝通為準。

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